Halbleiterproduktionstechnik WiSe 2004/2005 - Kontrollfragen mit Lösung:

(aktueller Stand der PDF-Datei: 13. Januar 2006; 2., korrigierte Fassung)

Das vorliegende Dokument enthält alle Kontrollfragen, welche Herr Prof. Dr.-Ing. Hansch gegen Ende des Wintersemesters 2004/2005 für die Vorlesung "Halbleiterproduktionstechnik" an der TU München auf CD verteilt hat. Die Lösungen wurden selbst größtenteils aus dem Skript erstellt.

Korrektur- und Verbesserungsvorschläge sind jederzeit herzlich willkommen. Benutze dazu bitte den Link "E-Mail-Kontakt" in der Navigatorleiste.

Dateiformat: Portable Document Format (PDF-Version 1.3; geeigneter Viewer: Adobe AcrobatReader ab Version 4.0)

Inhalt: Überblick, Statistik, Produktionsmodelle, Halbleitertechnologie, Fab Phänomene, Factory Dynamics, Overall Equipment Efficiency
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