Optomechatronische Messsysteme WiSe 2003/2004 - Formelsammlung:

(aktueller Stand der PDF-Datei: 31. Mai 2006)

Das vorliegende Dokument ist eine Zusammenfassung der wichtigsten Inhalte aus dem Skript und den Übungen der Vorlesung "Optomechatronische Messsysteme", welche Herr Uni.-Prof. Dr.-Ing. habil. Alexander W. Koch im Wintersemester 2003/2004 an der TU München gehalten hat.

Nachtrag (31.07.2011): Das offizielle Skript zur Vorlesung kann über das TUM elearning System heruntergeladen werden.

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Dateiformat: Portable Document Format (PDF-Version 1.4; geeigneter Viewer: Adobe AcrobatReader ab Version 5.0)

Inhalt: Grundlagen (grundlegende Eigenschaften optischer Strahlung, Interferenz, Beugung), optische Vermessung techischer Oberflächen, optische Analyte dünner Schichten, optische Grenzphänomene
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